Opto Alignment三維曲面輪廓儀QuickPRO-3D

Name: Opto Alignment三維曲面輪廓儀QuickPRO-3D
Brand: 天津瑞利光電科技有限公司
SKU: QuickPRO-3D
Availability: InStock

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產品型號QuickPRO-3D

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更新時間：2026-06-04 07:05:33瀏覽次數：28次

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產品簡介

產品介紹QuickPRO-3D是一款緊湊型（臺式）非接觸式計量系統，從設計之初就旨在實現高精度、高速度的表面形貌和薄膜厚度測量，滿足嚴苛的測量要求

詳細介紹

產品介紹

QuickPRO-3D 是一款緊湊型（臺式）非接觸式計量系統，從設計之初就旨在實現高精度、高速度的表面形貌和薄膜厚度測量，滿足嚴苛的測量要求。其核心測量技術基于高帶寬彩色共焦白光傳感，并由高力線性電機和納米級精度光學編碼器提供運動控制。堅固的花崗巖平臺集成溫度傳感功能，確保了系統所需的結構和熱穩定性，從而保證了 Z 軸方向 150nm 的測量精度和 X/Y 軸方向亞微米級的定位精度。

性能特點

緊湊型臺式裝置，帶環境防護罩
非接觸式色差共焦傳感器
三維表面形貌和透明膜厚度測量
納米級 X/Y/Z 運動，采用磁力線性電機和交叉滾子軸承
可選配真空吸盤，用于樣品和托盤的固定
用戶友好的 CalcuSurf3D 配方生成、數據采集和表面分析軟件，可優化測量采樣密度，以高通量實現覆蓋率
符合 DIN ISO 標準的三維表面繪圖和數據報告功能
可提供定制自動化功能

技術參數

產地	美國
系統
尺寸（長 x寬x高）	535mm x 380mm x 510mm
重量	約 60kg
系統控制器	運動和傳感器控制；高速數據鏈路
電源要求	110-220V 交流電，50-60 Hz，2 A（220V），5 A（110V）
運動
測量區域（XYZ）	100mm x 100mm x 50mm
位置精度	< 1μm
驅動類型	帶磁力平衡的線性伺服電機（Z軸）
平臺速度	100mm/s
掃描類型/路徑	螺旋、光柵、用戶自定義
負載能力	5kg
傳感器
技術	色差共焦點傳感器
應用	輪廓和厚度測量
采樣率	高達 66kHz
可用探頭	0.5mm (HS)、1.0mm、3.0mm
橫向分辨率	5μm、2μm、6μm
工作距離	11mm、19mm、23mm
軸向分辨率	20nm、4nm、8nm
斜率max.	> ±45°、±45°、±30°
厚度范圍 (n=1.5)	30μm -750μm、45μm -1500μm、180μm -4500μm
厚度測量范圍	max.0.3 mm、1.5 mm、6 mm
測量參數
軸向測量精度	≤ 150nm
厚度精度（TTV）	≤ 0.002mm（取決于折射率）