天津瑞利光電科技有限公司
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產品介紹多光子聚合(MPP)是一種能夠在亞微米分辨率下制造任意形狀聚合物結構的技術
多光子聚合 (MPP) 是一種能夠在亞微米分辨率下制造任意形狀聚合物結構的技術。首先，將聚合物材料與光引發劑混合，滴涂在玻璃載玻片上，然后進行預烘烤，制備光刻膠樣品。之后，采用直接激光寫入技術制造三維微結構。由于光聚合作用，聚合物在激光照射下發生固化。之后，將微結構浸入有機溶劑中顯影未聚合的光刻膠。
MPP 因其能夠制造復雜而準確的結構，已成為微電子器件制造領域的熱門選擇。其高度聚焦的光源也使得創建復雜的三維形狀變得輕而易舉。
| 產地 | 立陶宛 |
| 材料 | SZ2080、SU-8、有機陶瓷、玻璃聚合物、有機-無機雜化光敏聚合物、彈性體、蛋白質 |
| XY特征尺寸 | min.150 nm |
| 表面粗糙度Ra | min.≤ 20 nm |
| 加工速度 | max.30 mm/s |
| 飛秒激光光源 |
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| 波長 | 780 nm；1030 ± 10 nm，515 ± 10 nm |
| 重復頻率 | 100 MHz；11 MHz … 76 MHz；單次脈沖 – 1 MHz |
| 脈沖持續時間 | < 100 fs；50 fs，120 fs，170 fs；290 fs – 20 ps（可調） |
| 平均功率max. | 250 mW；2 W；5 W |
| 長期功率穩定性 | 24 小時 < 0.5% RMS；100 小時 < 0.5% RMS |
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| 帶同步振鏡的線性平臺 |
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| XYZ 定位平臺安裝在帶橋架的花崗巖底座上 |
| 行程 (XYZ) | 160 mm × 160 mm × 60 mm |
| 精度 (XYZ) | ± 300 nm |
| 分辨率 (XYZ) | 1 nm |
| 速度 (XY) | max.200 mm/s |
| 振鏡 |
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| 精度 | 50 μrad |
| 重復性 | 0.4 μrad RMS |
| 其他參數 |
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| 實時監控 | 制造過程由集成機器視覺系統監控 |
| 拼接 | 采用無限視場 (IFoV) 實現無縫拼接 |
| 聚焦光學元件 | 物鏡 – 0.4 至 1.4 NA |
| 自動對焦系統 | 自動玻璃/聚合物或玻璃/空氣界面光學檢測 |
| 自對準系統 (SAS) | 自動激光光束路徑對準系統 |
| 基片 | 通用真空樣品架，配備計算機控制的位置同步照明，適用于透明樣品 |
| 光束傳輸與控制 | 電動衰減器、偏振旋轉器、擴束器。集成功率計可實現實時功率監測 |
| 軟件 | 方便控制所有必要的工藝參數和機器設置。該軟件可處理常用 CAD 程序創建的標準 3D 設計格式，例如 STL |
| 激光安全 | 符合人體工程學的外殼，確保激光安全等級為 1 級，并為激光微加工工藝提供穩定的環境條件 |
| 物理尺寸 |
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| 所有門關閉時的尺寸 （寬 × 長 × 高） | 1790 × 920 × 2270 mm |
| 所有門打開時的尺寸 （寬 × 長 × 高） | 2680 × 1900 × 2300 mm |
| 重量 | 約 700 公斤 |
| 環境及公用設施要求 |
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| 工作溫度 | 20 ± 2 °C |
| 相對濕度 | ≤ 60% |
| 電氣要求 | 110 VAC，20 A – 230 VAC，10 A |
| 交流功率（正常運行） | 典型值 2 kW |
微光學
微機械
支架
傳感器
互連
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